真空退火炉是现在工业领域使用规模非常广泛的一种炉子，因为它的工艺流程非常简洁高效，所以它才能被如此广泛的应用，那它的工艺流程包括哪些方面呢？

　　1、加热时的低真空压力变化可以借助中性气体快速排除炉内空气，然后用少量的有机液体或液化气排除炉内残留的氧气和水蒸气，实现对工件较少的无氧化加热。与常规可控气氛退火炉相比，辅料消耗降低50%以上。
　　2、化学热处理时，借助低真空压力变化，渗剂可以定向流动。在快速消除工件周围的时效气氛后，新鲜的渗剂立即快速扩散到炉内各个部位，工件上的气孔、盲孔和压制面可以获得满意的渗层，从而实现工件的密排生产。
　　3、单一元素的炉气可以迅速转变为两种元素的多元共渗气氛，质量和数量可以精确控制，质量控制是控制炉气各组分的百分比，数量控制是控制炉气的总压。由于几种元素同时渗透的相互促进，渗透速度加快，工艺周期明显缩短。