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光亮退火炉常见问题有哪五点

       光亮退火炉是在半导体器件制作中使用的一种工艺,其包含加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的作用而设计的。那么光亮退火炉常见问题有哪些,下面丹阳市电炉厂来介绍。

      

光亮退火炉常见问题有哪五点
 

1、退火温度是否达到规定温度。亮光退火炉一般是采纳固溶热处理,也就是人们往常所谓的“退火”,温度规模为1040~1120℃(日本标准)。能够通过退火炉观察孔观察,退火区的不锈钢管应为白炽状况,但没呈现软化下垂。
2、退火气氛。一般都是选用纯氢作为退火气氛,气氛纯度比较好是99.99%以上,如果气氛中另一部分是惰性气体的话,纯度也能够低一点,可是绝对不能含有过多氧气、水汽。
3、炉体密封性。亮光退火炉应是关闭的,与外界空气隔绝;选用氢气作维护气的,只有一个排气口是通的(用来点着排出的氢气)。检查的方法能够用肥皂水抹在退火炉各个接头缝隙处,看是否跑气;其中比较简单跑气的当地是退火炉进管子的当地和出管子的当地,这个当地的密封圈特别简单磨损,要经常检查经常换。
4、维护气压力。为了避免呈现微漏,炉内维护气应坚持一定的正压,如果是氢气维护气,一般要求20kBar以上。
5、炉内水汽。一方面检查炉体材料是否干燥,初次装炉,炉体材料必需要烘干;二是进炉的不锈钢管是否残留过多水渍,特别管子上面如果有孔的话,千万别漏水进去了,要不然就把炉子气氛全破坏了。如果没有呈现这几类问题的话开炉后应该退20米左右的不锈钢管就会开始发亮,是亮得反光的那种。

 

       光亮退火炉常见问题有哪五点上文已详细介绍,想了解更多请关注我们的新闻动态。

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